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半導(dǎo)體專用真空烤箱

更新時(shí)間:2021-08-13   點(diǎn)擊次數(shù):1043次

一、半導(dǎo)體專用真空烤箱箱體規(guī)格

規(guī)格型號(hào)

內(nèi)箱尺寸(W*H*Dmm)

外箱尺寸(W*H*Dmm)

真空泵

電源

HE-WD-300

300*300*300

1000*1580*920

4升

AC 220V 50Hz 3.5KW

HE-WD-400

400*400*400

1000*1580*920

4升

AC 220V 50Hz 4.5KW

HE-WD-500

500*500*500

1000*1580*920

4升

AC 220V 50Hz 5.5KW

HE-WD-600

600*600*600

1000*1580*920

4升

AC 380V 50Hz 9KW

HE-WD-700

700*700*700

1000*1580*920

8升

AC 380V 50Hz 12KW

HE-WD-800

800*800*800

1100*1680*1050

8升

AC 380V 50Hz 15KW

HE-WD-1000

1000*1000*1000

1350*1620*1300

8升

AC 380V 50Hz 20KW


箱體結(jié)構(gòu):連體式,真空泵置于機(jī)臺(tái)下部;

隔層:內(nèi)分二層,配網(wǎng)板二塊,可活動(dòng)抽出;

面板安裝:控制面板安裝于機(jī)臺(tái)下方(如設(shè)備外觀圖);

開門方式:?jiǎn)斡捎抑磷箝_啟;

可視窗:門上帶可視窗,規(guī)格W250×H300mm;

內(nèi)箱材料為:304#不銹鋼工業(yè)板;內(nèi)箱加強(qiáng)處理,抽真空不變形;

外箱材料為:冷軋鋼板,厚1.2mm,表面烤漆處理;

保溫材質(zhì)為:耐高溫巖棉,保溫層厚100mm,保溫效果好;

安裝帶剎車活動(dòng)腳輪,可任意推動(dòng);

二、半導(dǎo)體專用真空烤箱控溫系統(tǒng)

溫度范圍:常溫+30℃~200℃

控制精度:±0.5℃

顯示精度:0.1℃        

箱內(nèi)溫度均勻度:±5℃%(無真空時(shí),空箱測(cè)試)

升溫速率:RT→100℃(約30分鐘),200℃(約45分鐘)

三、真空系統(tǒng)

真空度:0~-101KPa

真空保壓泄漏率:約0.8KPa每小時(shí)

采用高密封性的硅膠密封條保障整機(jī)的密封性;

采用數(shù)顯示式真空表直接顯示內(nèi)箱真空度,讓你即時(shí)了解箱體內(nèi)的真空狀態(tài),真空度達(dá)到0--0.1Mpa (即:100pa真空度)

四、充氮?dú)庋b置

1、調(diào)壓閥:控制氮?dú)鈮毫?,正常使用下氮?dú)鈮毫φ{(diào)為2.5公斤左右;

2、面板流量計(jì):控制氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)的大小,量程為10L/min-60Lmin;

3、氮?dú)夤艿肋M(jìn)入到箱內(nèi)正后面,調(diào)壓閥處預(yù)留8mm快插氣管接口;

4、注:氮?dú)庥捎脩糇詡洹?/span>

聯(lián)


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